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AT型石英晶體諧振器的優點、缺點與愛普生的解決方法

AT型石英晶體諧振器的振蕩是典型的厚度變形振蕩，其理想的振蕩狀態是只在中央部分振蕩，而周圍部分不產生振蕩。對于MHz 頻帶中較低頻帶的 AT 型石英晶體諧振器，大多使用倒角加工，使石英片的中央部分與周圍的厚度不同，從而獲得該效果。通常，石英晶振制造商更多使用AT型石英晶體諧振器。

AT型無源貼片晶振的優點在于：

①在常溫范圍內有拐點，頻率在較寬的溫度范圍內保持穩定；
②覆蓋的高頻范圍較寬；
③與石英片的長寬尺寸無關，只需控制石英片厚度就能獲得所需高頻，因此適于小型化；
④只需旋轉 Z軸就能進行石英片切割，便于生產。

缺點：常規AT晶振的頻率輸出范圍在較小，通常機械性研磨實現批量、穩定生產的頻率限度為以基波起振 50MHz 左右（石英片厚度為約 30μm）。但是，若要從 AT型石英晶體直接起振高頻，則需將石英片加工得很薄。這在加工方法和機械性強度等方面存在著制約。

愛普生晶體諧振器的解決方案：為了獲取更大的頻率輸出，目前EPSON采用其獨有的"QMEMS"技術，生產出只將振蕩部分加工變薄的反向臺形 AT 型石英晶體，生產出只將激勵部分加工成幾微米的反向臺結構，使用高次振動的振動模式（三次諧波）達到 50MHz 至 150MHz，既保證了芯片的強度又能以基波起振高頻，由此產生高頻、穩定的基準信號。

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